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        臨汾博利士納米材料有限公司榮獲2021年度“創客中國”臨汾市中小企業創新創業大賽二等獎

        7月20日,由臨汾市中小微企業發展中心主辦,臨汾市公共就業人才服務中心、臨汾市工商聯、堯都高新技術產業開發區、中共堯都區委組織部、堯都區人力資源和社會保障局、堯都區中小企業發展促進中心協辦,網易·堯都雙創科技園承辦的第二屆臨汾網易杯2021年“創客中國”臨汾市中小企業創新創業大賽暨創新創業人才交流會成功召開,臨汾博利士納米材料有限公司憑借“150~200mm半導體硅片化學機械拋光液的研發及產業化”項目,榮獲“臨汾網易杯”2021“創客中國”臨汾市中小企業創新創業大賽二等獎。


        本次大賽旨在為中小企業和創客提供交流展示、產融對接、項目孵化的平臺,發掘和培育一批優 秀項目和優 秀團隊,生新產品、新技術、新模式和新業態,提升中小企業專業化能力和水平,推動臨汾市中小企業的發展。

        我公司項目主要介紹用于拋第 一代半導體材料的:硅片拋光液。硅片拋光液是由二氧化硅溶膠、氧化劑、pH調節劑、表面活性劑、水等組成的堿性拋光液。利用拋光液中的化學物質與硅片表面進行化學反應,再由二氧化硅膠粒的吸附和機械摩擦作用,去除反應產物,從而達到去除晶片表面損傷層與玷污雜質的拋光目的。

        在半導體襯底的生產制造過程中,化學機械拋光是實現襯底表面平坦化的關鍵工藝?;瘜W機械拋光是將待加工工件表面朝下,以一定的壓力壓向拋光墊,在流動拋光液介質的條件下,借助于拋光墊和工件的相對運動,在納米顆粒的機械磨削及添加劑的化學腐蝕作用下來完成對工件表面的材料去除,從而獲得工件表面全局平坦化的技術,也是目前唯 一可以實現大規模生產的全局平坦化技術。


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